江苏微导纳米科技简介

公司简介

江苏微导纳米科技股份有限公司(简称“微导纳米”)成立于2015年12月,是一家面向全球的高端设备制造商。公司以原子层沉积(ALD)技术为核心,专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域;主要产品为应用于逻辑芯片、存储芯片、硅基微显示和3D封装等半导体及泛半导体ALD设备和技术,以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池的薄膜设备和量产解决方案。

公司荣获工信部2021年第三批专精特新“小巨人”企业、2021年苏南国家自主创新示范区独角兽企业、2020年度江苏省小巨人企业(制造类)等荣誉称号,并被认定为江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站、江苏省省级企业技术中心。在不断完善自有研发平台建设、持续巩固自身研发实力的同时,公司与上海交通大学、南京大学、芬兰赫尔辛基大学等知名院校建立了良好的合作关系,共同推进ALD技术的创新发展。

自成立以来,公司通过不断吸纳国内外优秀人才和保持高水平研发投入,已在微米级、纳米级薄膜沉积核心技术领域具有丰富的技术积累。公司产品率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节,具备优良的产能提升能力与产品性能,在保障光电转换效率的同时,有效帮助下游电池片厂商大幅降低了设备投资额与生产消耗成本。在此基础上,公司继续深化开发对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备,是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司,设备总体表现和工艺关键性能参数达到国际同类水平,并已获得客户重复订单认可,填补了我国在该项半导体设备上的空白。

公司也是国内少数能在短期内快速反馈并协助客户解决产线上ALD技术问题的设备厂商之一,具备承担下一代光伏电池设备和半导体设备项目的技术储备和人才基础。公司将持续围绕市场需求,深化自主创新,加快核心技术攻关,进一步拓展并薄膜沉积技术的应用领域,推动高端技术装备的国产化、产业化,力争成为世界级的微纳制造装备领军企业。